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Effizienter Betrieb von Xenon-Excimer-Entladungen bei hoher Leistungsdichte


Author: Paravia, Mark
Source: Directory of Open Access Books
Publisher: KIT Scientific Publishing
ISBN: 9783866445017
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs Image

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Description
In der vorliegenden Arbeit wurde der Betrieb dielektrisch behinderte Entladung bei hoher Leistungsdichte und hoher Effizienz untersucht. Hierbei wurde eine Abhängigkeit der homogenen Entladung von der Stromdichte festgestellt. Die nötige Anregungsform wurde in einem resonanten Puls-Betriebsgerät verwirklicht, welches Wirkungsgrade bis 87 % erreicht. Durch goniometrische Strahlungsflussmessungen im UV wurden die erreichte Leistungsdichte und Plasma-Effizienz bestimmt.